柜内洁净度:最高度可达CLASS 3级
风速均匀性: 洁净柜内无气流死角,柜内各点风速均匀无较大差异 (0.2-0.45m/sec)
TDH返颗粒: 产品表面平均颗粒数对比<5ea (0.2um和0.3um都不能超过5颗),除首片和最末片
其余硅片上0.2um和0.3um的颗粒最大增加均不能超过8颗
柜内的湿度:控制精度3% RH
降湿的速度:
30分钟内可从环境湿度降至10%RH (85L/min)
除静电效果:经过干燥2小时后,产品表面5点取样及定点测试静电值<1KV
采用独特的模块化设计,温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速安装、维护及升级。