產品介紹

節能氮氣乾燥櫃
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節能氮氣乾燥櫃 | QS-1200-6

QS-1200-6

節能氮氣乾燥櫃

 
  • 不銹鋼材質櫃體, 適用於無塵室
  • 溫濕度顯示器
  • 監測記錄功能
  • 警報提醒系統
  • 濕度感測控制氮氣功能

櫃體規格與功能

可選購或預留RFID存取功能(12吋晶圓)

進出儲位載具記錄儲存於資料庫,方便存取。
記錄溫濕度、含氧量值,確保存放環境安全可靠。
紀錄貨物存放時間,超時警示,
尋貨功能,在主機上即可查詢載具資訊。
資訊整合,中央式監控。
支援SECS協定。
機型 QS-1200-6 QS-600 QS-400
產品圖
溫濕度精度 ±3.0%RH, ±1.0℃
濕度範圍 相對濕度1%~50%RH
外寸(mm) W1200*D672*H1820 W600*D672*H1820 W600*D672*H1274
內寸(mm) W1198*D635*H1647 W598*D635*H1647 W598*D635*H1115
層板尺寸(mm) W1155*D530*H20 W555*D530*H20 W555*D530*H20
容量 1250L 624L 413L
層板數量 不鏽鋼層板5片 不鏽鋼層板5片 不鏽鋼層板3片
功率 Ave. 5Wh; Max. 10W Ave. 5Wh; Max. 10W Ave. 5Wh; Max. 10W

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